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產(chǎn)品詳細(xì)頁表面清潔度分析儀
- 更新時(shí)間:2023-06-29
- 產(chǎn)品型號(hào):LCD1000
- 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
- 產(chǎn)品品牌:KINO
- 產(chǎn)品廠地:上海市
- 訪問次數(shù):5391
產(chǎn)品介紹
表面清潔度分析儀Automatic Flat Panel Cleanness Analyzer / Water Drop Angle Meter
Model LCD1000A/LCD1000M
LCD系列表面清潔分析儀為美國科諾研制的行業(yè)性分析儀器,可在分析測試水滴在液晶屏、晶圓(Wafer)、芯片或PCB板表面的形成的角度值的基礎(chǔ)上,進(jìn)而分析Plasma效果,是一種基于界面化學(xué)分析系統(tǒng)的表面清潔度測試系統(tǒng)。
本系列表面清潔度分析儀由儀器主機(jī)和CAST™2.0水滴角分析軟件兩個(gè)部分組成。根據(jù)樣品臺(tái)移動(dòng)方式不同,我們將儀器主機(jī)分為自動(dòng)(LCD1000A)、手動(dòng)(LCD1000M)兩種。樣品臺(tái)尺寸及其控制行程可根據(jù)客戶要求定制。我們?yōu)閺V大客戶提供性能,價(jià)格合理的儀器以及化的產(chǎn)品,期盼為客戶的研發(fā)與品質(zhì)控制提供的服務(wù)。
一、LCD系列表面清潔分析儀的產(chǎn)品優(yōu)勢:
1、人性化的設(shè)計(jì),操作簡單;
→選購自動(dòng)注射泵,可完成自動(dòng)進(jìn)液控制,精度可達(dá)0.02uL
→自動(dòng)修正鏡頭傾斜角度以及水平線傾斜角度
→按測試,軟件自動(dòng)完成拍照、分析敏感點(diǎn)、計(jì)算角度值
2、全區(qū)域測試,可支持各種規(guī)格面板
→480*480(LCD-400S)
→750*750(LCD-700S)
→900*700(LCD900S)
→1400*1400(FPD)
3、數(shù)據(jù)庫管理技術(shù)
→歷史數(shù)據(jù)可查詢
→可導(dǎo)出為EXCEL文檔及BMP圖片
→可錄相AVI格式,供制作PPT所用
4、CAST2.0具有多項(xiàng)技術(shù)
→多達(dá)6種以上接觸角計(jì)算辦法
→多達(dá)12種固體表面自由能估算模型
→支持曲面校準(zhǔn)技術(shù)
→支持粘附功計(jì)算、WBA分析等
二、LCD系列表面清潔分析儀的功能實(shí)現(xiàn):
1、測試前:
(1)通過調(diào)整進(jìn)樣器前后、左右、上下移動(dòng)(XYZ)及鏡頭俯仰角度和升降(Z向),實(shí)現(xiàn)調(diào)整焦距的目的。
(2)通過控制導(dǎo)軌前后、左右移動(dòng)(XY),將注射泵移動(dòng)至角落后,以方便裝樣。
2、測試過程中:
(1)通過導(dǎo)軌前后、左右方向(XY)的移動(dòng)控制,實(shí)現(xiàn)樣品上不同點(diǎn)的水滴角度值的測試;
(2)通過移動(dòng)進(jìn)樣器升降移動(dòng)(Z向),完成液滴移液過程(將水液滴轉(zhuǎn)移到液晶屏上);
(3)通過進(jìn)樣器注出液滴,進(jìn)行角度分析,精度可達(dá)0.02uL。
3、測試實(shí)現(xiàn)方法:
(1)通過相機(jī)捕捉液滴在液晶屏上的圖片后,分析敏感點(diǎn),計(jì)算得出角度值;
(2)計(jì)算辦法:θ/2法(WH法)或圓擬合法;
(3)軟件對(duì)鏡頭的俯視角度進(jìn)行適當(dāng)?shù)男拚?,以期?shí)現(xiàn)更的測量。
三、技術(shù)參數(shù):軟件分析基于CAST2.0分析系統(tǒng)
| LCD1000A | LCD1000M | ||
全自動(dòng)型 | 手動(dòng)型 | |||
主機(jī) | 主機(jī) | 概述 | 自動(dòng)控制樣品臺(tái) | 手動(dòng)控制樣品臺(tái) |
鏡頭水平X移動(dòng) | 自動(dòng):600mm 或更大行程 精度:0.01mm | 手動(dòng):600mm或更大行程 精度:0.1mm 帶手柄 | ||
鏡頭水平Y(jié)移動(dòng) | 自動(dòng):600mm或更大行程 精度:0.01mm | 手動(dòng):600mm或更大行程 精度:0.1mm帶手柄 | ||
鏡頭上下Z1移動(dòng) | 自動(dòng):25mm 精度:0.01mm | 手動(dòng):25mm 精度:0.01mm | ||
鏡頭傾斜調(diào)整 | 手動(dòng) | 手動(dòng) | ||
樣品臺(tái)水平 | 手動(dòng) 微調(diào) | 手動(dòng) 微調(diào) | ||
進(jìn)樣器控制XY | 手動(dòng) 12.5mm 0.01mm 精度 | 手動(dòng) 12.5mm 0.01mm 精度 | ||
進(jìn)樣器控制Z | 自動(dòng) 25mm 0.01mm精度 | 手動(dòng) 25mm 0.01mm精度 | ||
整機(jī)升降控制Z2 | 自動(dòng) 25mm 0.01mm精度 | 手動(dòng) 25mm 0.01mm精度 | ||
水平調(diào)整 | 手動(dòng)微調(diào)控制樣品臺(tái)水平 | |||
樣品臺(tái) | 600*600mm 或更大 | |||
進(jìn)樣器 | 自動(dòng)進(jìn)樣注射泵 | 手動(dòng)進(jìn)樣注射泵 | ||
進(jìn)樣器焦距調(diào)整:手動(dòng) | ||||
光學(xué)CCD成像系統(tǒng) | USB口視頻捕捉設(shè)備 25幀/秒工業(yè)黑白CCD相機(jī) 10-50倍連續(xù)放大工業(yè)鏡頭 | |||
光學(xué)系統(tǒng)調(diào)整 | 一維水平角度調(diào)整機(jī)構(gòu) | |||
光源系統(tǒng) | 可調(diào)亮度單色冷光LED光源,水滴角圖像邊緣更清晰 | |||
通訊接口 | 主機(jī)控制及視頻系統(tǒng)控制均采用USB2.0通訊接口,兼容性更好、速度更快 | |||
軟件 系統(tǒng) | 水滴角計(jì)算方式 | 全自動(dòng)計(jì)算 按“測試”,軟件自動(dòng)完成拍照、分析敏感點(diǎn)、計(jì)算水滴角值三個(gè)動(dòng)作 | ||
水滴角計(jì)算辦法 | 共6種:*提供θ/2法、真實(shí)液滴法、圓擬合法、橢圓擬合法、曲線尺法,適用于分析動(dòng)/靜態(tài)水滴角值 | |||
液滴形態(tài) | 5種分析液滴形態(tài):停滴(2、3態(tài))、懸滴、氣泡虜獲法以及插板法,多種液滴形態(tài)均可適用 | |||
隨時(shí)間變化水滴角測試 | 25幀/秒隨時(shí)間變化水滴角測試,提供軟件觸發(fā)技術(shù) | |||
動(dòng)態(tài)水滴角分析 | 前進(jìn)角/后退角分析 | |||
表面自由能估算 | *提供如Equation of State ( Neumann et al. )、Good-Girifalco、Owen-Wendt-Rabel、Simple Fowkes、Extended Fowkes、WU法1-2、Schultz法1-2、Acid-base(Van OSS & Good)、Jhu、Zizman臨界表面張力法等共12種表面自由能估算方法,不但能分析低能固體表面,也能分析高能固體表面,以及他們的分布(色散力、極性力、氫鍵值、路易斯酸堿等)。 | |||
粘附功計(jì)算 | 軟件自動(dòng)分析 | |||
ü 自動(dòng)曲面修正:上凸曲面、下凹曲面、表面粗糙度修正; | ||||
ü 自動(dòng)水滴角值計(jì)算(θ/2 法)和人工計(jì)算水滴角值法切換 | ||||
ü 左右水滴角值計(jì)算與比較,平均水滴角計(jì)算 | ||||
ü 水平及俯仰角度,任意角度值修正功能 | ||||
ü 自動(dòng)生成曲線圖 | ||||
ü 強(qiáng)大的數(shù)據(jù)庫管理功能:備份、壓縮、導(dǎo)出EXCEL表格 | ||||
ü 自動(dòng)液滴量估算 |
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