表面清潔度分析儀

產(chǎn)品介紹

表面清潔度分析儀Automatic Flat Panel Cleanness Analyzer / Water Drop Angle Meter
Model LCD1000A/LCD1000M

LCD系列表面清潔分析儀為美國科諾研制的行業(yè)性分析儀器，可在分析測試水滴在液晶屏、晶圓（Wafer）、芯片或PCB板表面的形成的角度值的基礎(chǔ)上，進而分析Plasma效果，是一種基于界面化學(xué)分析系統(tǒng)的表面清潔度測試系統(tǒng)。
本系列表面清潔度分析儀由儀器主機和CAST™2.0水滴角分析軟件兩個部分組成。根據(jù)樣品臺移動方式不同，我們將儀器主機分為自動（LCD1000A）、手動（LCD1000M）兩種。樣品臺尺寸及其控制行程可根據(jù)客戶要求定制。我們?yōu)閺V大客戶提供性能，價格合理的儀器以及化的產(chǎn)品，期盼為客戶的研發(fā)與品質(zhì)控制提供的服務(wù)。

一、LCD系列表面清潔分析儀的產(chǎn)品優(yōu)勢：
1、人性化的設(shè)計，操作簡單；
→選購自動注射泵，可完成自動進液控制，精度可達(dá)0.02uL
→自動修正鏡頭傾斜角度以及水平線傾斜角度
→按測試，軟件自動完成拍照、分析敏感點、計算角度值
2、全區(qū)域測試，可支持各種規(guī)格面板
→480*480（LCD-400S）
→750*750（LCD-700S）
→900*700（LCD900S）
→1400*1400（FPD）
3、數(shù)據(jù)庫管理技術(shù)
→歷史數(shù)據(jù)可查詢
→可導(dǎo)出為EXCEL文檔及BMP圖片
→可錄相AVI格式，供制作PPT所用
4、CAST2.0具有多項技術(shù)
→多達(dá)6種以上接觸角計算辦法
→多達(dá)12種固體表面自由能估算模型
→支持曲面校準(zhǔn)技術(shù)
→支持粘附功計算、WBA分析等

二、LCD系列表面清潔分析儀的功能實現(xiàn)：
1、測試前：
（1）通過調(diào)整進樣器前后、左右、上下移動（XYZ）及鏡頭俯仰角度和升降（Z向），實現(xiàn)調(diào)整焦距的目的。
（2）通過控制導(dǎo)軌前后、左右移動（XY），將注射泵移動至角落后，以方便裝樣。
2、測試過程中：
（1）通過導(dǎo)軌前后、左右方向（XY）的移動控制，實現(xiàn)樣品上不同點的水滴角度值的測試；
（2）通過移動進樣器升降移動（Z向），完成液滴移液過程（將水液滴轉(zhuǎn)移到液晶屏上）；
（3）通過進樣器注出液滴，進行角度分析，精度可達(dá)0.02uL。
3、測試實現(xiàn)方法：
（1）通過相機捕捉液滴在液晶屏上的圖片后，分析敏感點，計算得出角度值；
（2）計算辦法：θ/2法（WH法）或圓擬合法；
（3）軟件對鏡頭的俯視角度進行適當(dāng)?shù)男拚?，以期實現(xiàn)更的測量。

三、技術(shù)參數(shù)：軟件分析基于CAST2.0分析系統(tǒng)